プラズマの効果

2018-10-26

真空を利用して薄膜を作る上で、プラズマは不可欠です。物質の状態は、液体→固体→気体であるのはよく知られていますが、これに加え第4の状態がプラズマです。身近なところでは雷やオーロラです。簡単に言うと非常にエネルギーが高い状態です。この中でコーティングすると薄膜が頑丈になり耐久性も上がります。機能性薄膜ではプラズマを利用して、どんな環境でも劣化しない高品質な薄膜を目指しています。

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